Experimentelles Ellipsometer LCP-25
Einführung
Das manuelle elliptische Polarimeter verwendet die Extinktionsmethode, um die Dicke und den Brechungsindex des Films zu messen, und reguliert manuell die Abweichung und den Abweichungswinkel des Testprozesses. Die Ellipsometrie wird häufig bei der Messung von dielektrischen Dünnfilmen auf festen Substraten verwendet. Bei der Methode zur Messung der Filmdicke kann diese mit der dünnsten und höchsten Präzision gemessen werden.
Spezifikationen
| Beschreibung | Spezifikationen |
| Dickenmessbereich | 1 nm ~ 300 nm |
| Bereich des Einfallswinkels | 30º ~ 90º, Fehler ≤ 0,1º |
| Kreuzungswinkel von Polarisator und Analysator | 0º ~ 180º |
| Disk Angular Scale | 2º pro Skala |
| Mindest. Lesung von Vernier | 0,05º |
| Optische Mittenhöhe | 152 mm |
| Durchmesser der Arbeitsstufe | Φ 50 mm |
| Gesamtabmessungen | 730 x 230 x 290 mm |
| Gewicht | Ca. 20 kg |
Stückliste
| Beschreibung | Menge |
| Ellipsometereinheit | 1 |
| He-Ne Laser | 1 |
| Photoelektrischer Verstärker | 1 |
| Fotozelle | 1 |
| Silikafilm auf Siliziumsubstrat | 1 |
| Analyse-Software-CD | 1 |
| Bedienungsanleitung | 1 |
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