Experimentelles Ellipsometer LCP-25
Spezifikationen
| Beschreibung | Spezifikationen |
| Dickenmessbereich | 1 nm ~ 300 nm |
| Bereich des Einfallswinkels | 30º ~ 90º , Fehler ≤ 0,1º |
| Schnittwinkel zwischen Polarisator und Analysator | 0º ~ 180º |
| Scheibenwinkelskala | 2° pro Skala |
| Mindestlesung von Vernier | 0,05º |
| Optische Mittenhöhe | 152 mm |
| Arbeitsbühnendurchmesser | Φ 50 mm |
| Gesamtabmessungen | 730 x 230 x 290 mm |
| Gewicht | ungefähr 20 kg |
Teileliste
| Beschreibung | Menge |
| Ellipsometer-Einheit | 1 |
| He-Ne-Laser | 1 |
| Fotoelektrischer Verstärker | 1 |
| Fotozelle | 1 |
| Siliziumschicht auf Siliziumsubstrat | 1 |
| Analysesoftware-CD | 1 |
| Bedienungsanleitung | 1 |
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