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Experimentelles Ellipsometer LCP-25

Kurzbeschreibung:

Das manuelle elliptische Polarimeter nutzt das Extinktionsverfahren zur Messung der Schichtdicke und des Brechungsindex und reguliert die Ablenkung und den Ablenkwinkel manuell. Die Ellipsometrie findet breite Anwendung bei der Messung dielektrischer Dünnschichten auf festen Substraten. Sie ermöglicht äußerst präzise Dickenmessungen.


Produktdetails

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Spezifikationen

Beschreibung Spezifikationen
Dickenmessbereich 1 nm ~ 300 nm
Bereich des Einfallswinkels 30º ~ 90º , Fehler ≤ 0,1º
Schnittwinkel zwischen Polarisator und Analysator 0º ~ 180º
Scheibenwinkelskala 2° pro Skala
Mindestlesung von Vernier 0,05º
Optische Mittenhöhe 152 mm
Arbeitsbühnendurchmesser Φ 50 mm
Gesamtabmessungen 730 x 230 x 290 mm
Gewicht ungefähr 20 kg

Teileliste

Beschreibung Menge
Ellipsometer-Einheit 1
He-Ne-Laser 1
Fotoelektrischer Verstärker 1
Fotozelle 1
Siliziumschicht auf Siliziumsubstrat 1
Analysesoftware-CD 1
Bedienungsanleitung 1

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