Experimentelles Ellipsometer LCP-25
Spezifikationen
Beschreibung | Spezifikationen |
Dickenmessbereich | 1 nm ~ 300 nm |
Bereich des Einfallswinkels | 30º ~ 90º, Fehler ≤ 0,1º |
Polarisator & Analysator Schnittwinkel | 0º ~ 180º |
Disk-Winkelskala | 2º pro Skala |
Mindest.Lesung von Vernier | 0,05º |
Optische Mittenhöhe | 152mm |
Arbeitsbühnendurchmesser | Ø 50 mm |
Gesamtabmessungen | 730 x 230 x 290 mm |
Gewicht | Ungefähr 20 kg |
Stückliste
Beschreibung | Menge |
Ellipsometer-Einheit | 1 |
He-Ne-Laser | 1 |
Photoelektrischer Verstärker | 1 |
Fotozelle | 1 |
Silikafilm auf Siliziumsubstrat | 1 |
Analyse-Software-CD | 1 |
Bedienungsanleitung | 1 |
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