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LCP-25 Experimentelles Ellipsometer

Kurze Beschreibung:

Das manuelle elliptische Polarimeter misst die Dicke und den Brechungsindex des Films mit der Extinktionsmethode und reguliert Abweichung und Abweichungswinkel des Prüfvorgangs manuell. Die Ellipsometrie wird häufig zur Messung dielektrischer Dünnschichten auf festen Substraten eingesetzt. Mit dieser Methode zur Messung der Filmdicke kann diese mit höchster Präzision und Dünnheit gemessen werden.


Produktdetail

Produkt Tags

Technische Daten

Beschreibung Technische Daten
Dickenmessbereich 1 nm ~ 300 nm
Einfallswinkelbereich 30º ~ 90º, Fehler ≤ 0,1º
Schnittwinkel von Polarisator und Analysator 0º ~ 180º
Scheibenwinkelskala 2º pro Skala
Min. Noniusablesung 0,05º
Optische Mittenhöhe 152 mm
Arbeitsbühnendurchmesser Φ 50 mm
Gesamtabmessungen 730x230x290 mm
Gewicht Ca. 20 kg

Teileliste

Beschreibung Menge
Ellipsometer-Einheit 1
He-Ne-Laser 1
Photoelektrischer Verstärker 1
Fotozelle 1
Siliziumfilm auf Siliziumsubstrat 1
Analysesoftware-CD 1
Bedienungsanleitung 1

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