LCP-25 Experimentelles Ellipsometer
Technische Daten
| Beschreibung | Technische Daten |
| Dickenmessbereich | 1 nm ~ 300 nm |
| Einfallswinkelbereich | 30º ~ 90º, Fehler ≤ 0,1º |
| Schnittwinkel von Polarisator und Analysator | 0º ~ 180º |
| Scheibenwinkelskala | 2º pro Skala |
| Min. Noniusablesung | 0,05º |
| Optische Mittenhöhe | 152 mm |
| Arbeitsbühnendurchmesser | Φ 50 mm |
| Gesamtabmessungen | 730x230x290 mm |
| Gewicht | Ca. 20 kg |
Teileliste
| Beschreibung | Menge |
| Ellipsometer-Einheit | 1 |
| He-Ne-Laser | 1 |
| Photoelektrischer Verstärker | 1 |
| Fotozelle | 1 |
| Siliziumfilm auf Siliziumsubstrat | 1 |
| Analysesoftware-CD | 1 |
| Bedienungsanleitung | 1 |
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