LCP-25 Experimentelles Ellipsometer
Technische Daten
Beschreibung | Technische Daten |
Dickenmessbereich | 1 nm ~ 300 nm |
Einfallswinkelbereich | 30º ~ 90º, Fehler ≤ 0,1º |
Schnittwinkel von Polarisator und Analysator | 0º ~ 180º |
Scheibenwinkelskala | 2º pro Skala |
Min. Noniusablesung | 0,05º |
Optische Mittenhöhe | 152 mm |
Arbeitsbühnendurchmesser | Φ 50 mm |
Gesamtabmessungen | 730x230x290 mm |
Gewicht | Ca. 20 kg |
Teileliste
Beschreibung | Menge |
Ellipsometer-Einheit | 1 |
He-Ne-Laser | 1 |
Photoelektrischer Verstärker | 1 |
Fotozelle | 1 |
Siliziumfilm auf Siliziumsubstrat | 1 |
Analysesoftware-CD | 1 |
Bedienungsanleitung | 1 |
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